 |
|
|
| |
|
|
| |
| |
|
|
| |
● 半導體工業凈化間的理想檢測儀器
● 理想的低濃度氣體檢測儀（PPb級）
● 抗干擾性強
● 使用插入式盒紙帶，更換方便
● 盒式紙帶剩余量顯示
|
|
| |
|
|
|
| |
|
|
| |
|
| 類 型 |
臺式，可移動 |
| 檢測原理 |
使用盒式紙帶的光電光度法原理 |
| 檢測紙帶 |
盒式紙帶、VHS型快速更換型紙帶 |
| 電源/能耗 |
AC100V，AC115V，AC220V，50/60Hz(檢測狀態耗能為35VA，紙帶卷動時耗能60VA) |
| 尺寸/重量 |
85（W）×190（H）×40（D）mm,500g |
|
檢測氣體 |
TLV值 |
檢測范圍 |
分辨率 |
磷烷（PH3） |
300ppb |
0-900ppb |
5 |
硅烷（SiH4） |
5ppm |
0-15ppm |
0.25 |
乙硼烷（B2H6） |
100ppb |
0-300ppb |
5 |
砷烷（AsH3） |
50ppb |
0-150ppb |
1 |
乙硅烷（Si2H6） |
5ppm |
0-10ppm |
0.1 |
硫化氫（H2S） |
10ppm |
0-100ppb |
1 |
碌氣（CL2） |
0.5ppm |
0-100ppb |
1 |
硒化氫（H2Se） |
50ppb |
0-300ppb |
2 |
|
| |
|
| |
|
|
| |
| 檢測原理 |
光電光度測量法 |
| 檢測紙帶 |
插入式盒式紙帶 |
| 檢測氣體范圍 |
NH3 |
|
0.5-4ppm |
CL2 |
|
0-0.8pm(*) |
|
|
0-1.5ppm |
AsH3 |
|
0-150ppb |
B2H6 |
|
0-300ppb |
HCI |
|
0.25-1ppm |
|
|
1.5-8ppm |
HF |
|
0-9ppm |
H2S |
|
0-10ppm |
|
|
00-100ppm |
PH3 |
|
0-500ppb(*) |
|
|
0-900ppb |
SiH4 |
|
0-8ppm |
|
|
0-15ppm |
|
精 度
|
顯示值的±20%+1 以內 |
| 檢測帶使用時間 |
1個月（無報警） |
| 報 警 點 |
第1和第2報警 |
| 自我診斷功能 |
傳感器故障，流量低，檢測帶故障
檢測帶耗盡警告，檢測帶安裝錯誤 |
| 外部輸出 |
4-20mA（****回路電阻為300Ω） |
| 電 源 |
AC110，110，117，220V 或 DC24V，
訂購時需指其中一種 |
| 工作溫度/濕度 |
5-35℃，30~+90% RH （無凝結） |
| 尺寸·重量 |
164（W）×198（H）×263（D）mm,臺式 6.5kg
164（W）×164（H）×261（D）mm,盤裝式5.5kg
|
|
| |
|
| |
| |
|
|
| |
● 微處理器控制
● 內置采樣泵
● 帶背景的LCD顯示
● 結構緊湊，重量輕
● 聲光報警
● 即時顯示峰值和平均值
● 記錄器輸出信號（0-1V線形）
|
|
| |
|
|
|
| |
| |
| |
|
|
| |
| 檢測原理 |
電化學原理 |
| 檢測氣體/范圍 |
見檢測氣體表 |
| 濃度顯示 |
連續測量值，平均值和峰值顯示 |
| 控制功能 |
微處理器控制 |
| 顯 示 |
點陣LCD顯示，帶自動照明 |
| 精 度 |
±10% 以內 |
| 反應時間 |
30秒以內（當通入3倍報警點濃度的氣體時） |
| 采樣方式 |
內置隔膜泵，吸入式采樣 |
| 使用溫度/濕度 |
-10℃~+40℃，小于90% RH |
| 連續使用時間 |
堿性電池（標準） 約20小時
Ni-Cd充電電池（選購） 約10小時 |
| 尺寸·重量 |
約 200（W）×80（H）×142（D）mm,1.9kg |
|
| |
|
|
| |
|
檢測氣體 |
檢測范圍 |
報警設定值 |
磷烷（PH3） |
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
砷烷（AsH3） |
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
硅烷（SiH4） |
0-15.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
5ppm |
乙硼烷（B2H6） |
0-30.0ppm(1 刻度0.05ppm) |
10ppm |
碌化氫（HCL） |
0-5.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
2ppm |
氟化氫（HF） |
0-9.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
3ppm |
|
| |
|
|
| |
● 內置微處理器控制
● LCD數字顯示
● 自我診斷功能
● 泵吸式采樣系統
● 輕便型檢測儀
● 峰值保持和平增值顯示
● 聲 / 光報警
● 數據記錄輸出
|
|
| |
|
|
|
| |
